| 序號 | 職稱 | 姓名 | 所代表法人 | 持有股份比例 | 持有股份數 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 董事長 | 岳維明 | 荷蘭商艾士麥股份有限公司 (ASML Holding N.V.) | 100% | 3,405,156,645 |
| 2 | 董事 | Pamela Denise Moya Schock | 荷蘭商艾士麥股份有限公司 (ASML Holding N.V.) | 100% | 3,405,156,645 |
| 3 | 董事 | Patrick John O'Keeffe | 荷蘭商艾士麥股份有限公司 (ASML Holding N.V.) | 100% | 3,405,156,645 |
| 序號 | 公司名稱 | 營業狀態 | 負責人 | 資本額 | 成立日期 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 荷蘭商漢微科股份有限公司 | 非營業中 | 陳文光 Ting Oon Kwong | 305,500,000 | 2018-02-09 | 同地址：新竹市公道五路三段1號11樓之1 |
| 2 | 台灣艾司摩爾科技股份有限公司 | 營業中 | 江佳慧 | 11,665,340,000 | 2017-06-28 | 同地址：新竹市公道五路三段1號11樓之1 |
| 3 | 香港商艾司摩爾貿易有限公司 | 非營業中 | - | 325,000,000 | 2017-07-03 | 同地址：新竹市公道五路三段1號11樓之1 |
| 4 | 台灣艾司摩爾股份有限公司 | 營業中 | 汪佳慧 | 7,095,649,000 | 2002-01-08 | 同地址：新竹市公道五路三段1號11樓之1 |
| 5 | 美商科文特股份有限公司 | 非營業中 | 徐能揚 Hsu Neng-yang | - | 2015-06-10 | |
| 6 | 元亨利貞建設股份有限公司 | 營業中 | 徐美芳 | 120,000,000 | 2016-03-15 | |
| 7 | 香港商昇顯科技有限公司 | 非營業中 | 何季陽 HO, CHI-YANG | - | 2019-06-25 | |
| 8 | 元亨開發股份有限公司 | 營業中 | 徐佩忠 | 30,000,000 | 2008-07-01 | |
| 9 | 大漠科技有限公司 | 非營業中 | 鄭明 | 1,000,000 | 2019-03-21 | |
| 10 | 新威資訊股份有限公司 | 營業中 | 鄭于詰 | 20,000,000 | 2019-06-03 |
