序號 | 專利名稱 | 類別 | 公告號 | IPC | LOC | 有效期限 | 效期狀態 |
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1 | 曝光裝置、曝光方法 | 發明 | I620992 | G03F7/20 H01L21/027 H01L21/677 | - | 2021-04-10 | 失效 |
2 | 貼合機 | 發明 | I611928 | B32B37/10 | - | 2021-01-20 | 失效 |
3 | 曝光裝置、曝光方法 | 發明 | I603158 | G03F7/20 | - | 2020-10-20 | 失效 |
4 | 曝光裝置 | 發明 | I485528 | G03F7/20 | - | 2021-05-20 | 失效 |
5 | 曝光用光罩 | 發明 | I447533 | G03F9/00 G03B27/32 | - | 2021-07-31 | 失效 |
6 | 曝光方法及曝光裝置 | 發明 | I430048 | G03F7/20 H05K3/06 | - | 2021-03-10 | 失效 |
7 | 曝光用光源裝置 | 發明 | I398735 | G03F7/20 G02B7/182 | - | 2021-06-10 | 失效 |
8 | 曝光裝置 | 發明 | I382276 | G03F7/00 | - | 2021-01-10 | 失效 |
9 | 曝光方法及曝光裝置 | 發明 | I329789 | G03F7/20 H01L21/027 | - | 2015-08-31 | 失效 |
10 | 加壓裝置 | 發明 | I304013 | B29C65/00 | - | 2010-12-10 | 失效 |