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專利證書

共 6 筆資料

資料來源：經濟部智慧財產局

序號	專利名稱	類別	公告號	IPC	LOC	有效期限	效期狀態
1	晶圓／碟片乾燥機之晶圓／碟片置放架改良	新型	209414	G11B33/02	-	2006-08-20	失效
2	半導體晶圓乾燥方法	發明	138678	H01L21/00	-	2008-07-31	失效
3	半導體晶圓乾燥機之定速排水裝置	新型	176276	H01L21/66	-	2008-07-10	失效
4	半導體擴散爐管清洗機之爐管傳動結構改良	新型	173702	F28G15/04	-	2006-05-27	失效
5	異丙醇（ＩＰＡ）氣化裝置	新型	170548	B01B1/00 B01D7/00	-	2007-03-20	失效
6	清洗機械之能源回收裝置	新型	058092	F28D1/00 F28D1/06	-	1996-09-10	失效

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