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專利證書

共 6 筆資料

資料來源：經濟部智慧財產局

序號	專利名稱	類別	公告號	IPC	LOC	有效期限	效期狀態
1	曝光方法及曝光裝置	發明	I481971	G03F9/02 G03F7/207 H01L21/677 H01L21/027	-	2021-04-20	失效
2	用於電氣元件的靜電吸引型檢測台	發明	I472749	G01N21/84 G01N21/89 B65G47/80	-	2021-02-10	失效
3	雷射加工方法及雷射加工裝置	發明	I342250	B23K26/08	-	2021-05-20	失效
4	液體材料供給裝置	發明	I337900	B05C5/02	-	2021-02-28	失效
5	用以檢查電子部件的系統	發明	I293365	G01N21/88 H05K13/08 G01R31/00	-	2017-02-10	失效
6	基板缺陷之整修裝置及方法	發明	I271262	B24B33/06 B24B49/04	-	2021-01-20	失效

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