序號 | 專利名稱 | 類別 | 公告號 | IPC | LOC | 有效期限 | 效期狀態 |
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1 | 曝光裝置以及曝光方法 | 發明 | I855238 | G03F7/22 G03F9/00 | - | 2027-09-10 | 有效 |
2 | 放電燈及放電燈的製造方法 | 發明 | I849783 | H01J61/36 H01J61/88 | - | 2027-07-20 | 有效 |
3 | 曝光裝置以及曝光方法 | 發明 | I847015 | G03F7/20 | - | 2027-06-30 | 有效 |
4 | 準分子燈、紫外線照射裝置以及臭氧產生裝置 | 發明 | I845818 | H01J65/00 | - | 2027-06-20 | 有效 |
5 | 曝光裝置 | 發明 | I839598 | G03F7/20 H01L21/677 B65G49/07 | - | 2027-04-20 | 有效 |
6 | 放電燈及放電燈用電極的製造方法 | 發明 | I837408 | H01J61/073 H01J9/02 | - | 2027-03-31 | 有效 |
7 | 曝光裝置及曝光方法 | 發明 | I833033 | G03F7/20 H01L21/027 | - | 2027-02-20 | 有效 |
8 | 曝光裝置及曝光方法 | 發明 | I833032 | G06F30/17 G03F7/20 H01L21/027 | - | 2027-02-20 | 有效 |
9 | 曝光裝置 | 發明 | I816763 | G03F7/20 | - | 2026-09-30 | 有效 |
10 | 投影曝光裝置 | 發明 | I813630 | G03F7/20 G02B27/00 | - | 2026-08-31 | 有效 |