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專利證書

共 1 筆資料

資料來源：經濟部智慧財產局

序號	專利名稱	類別	公告號	IPC	LOC	有效期限	效期狀態
1	預處理方法、金屬矽化物的形成方法以及半導體處理裝置	發明	I739473	H01L21/28 H01L21/283 H01L21/3213 H01L29/49 H01L29/66	-	2022-09-10	失效

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