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專利證書

共 7 筆資料

資料來源：經濟部智慧財產局

序號	專利名稱	類別	公告號	IPC	LOC	有效期限	效期狀態
1	垂直式雙腔室退火處理裝置	發明	I861667	H01L21/324 H01L21/322	-	2026-11-10	有效
2	雙腔室壓力控制方法與雙腔室壓力控制裝置	發明	I857462	H01L21/324 H01L21/322	-	2026-09-30	有效
3	半導體高壓退火裝置	發明	I830583	H01L21/324 H01L21/322	-	2027-01-20	有效
4	半導體裝置的製造方法	發明	I808477	H01L21/205 H01L21/322	-	2026-07-10	有效
5	腔室結構	新型	M643268	H01L21/67	-	2024-06-30	失效
6	半導體元件的鈍化設備	新型	M641701	H05H1/46 H05H7/00	-	2024-05-31	失效
7	半導體缺陷修復的裝置及方法	發明	I775691	H01L21/67 H01L21/324 H01L21/02	-	2025-08-20	失效

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