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更新時間:2021-02-26
林武興
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共 3 筆資料
資料來源:經濟部智慧財產局
序號
專利名稱
類別
公告號
IPC
LOC
有效期限
效期狀態
1
晶圓標記之自行對準裝置
發明
I302005
H01L21/306
-
2020-10-10
失效
2
晶圓基座
發明
I281221
H01L21/68
-
2021-05-10
失效
3
晶圓承載裝置
發明
202500
H01L21/68
-
2021-04-30
失效
1
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