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更新時間:2025-08-09

美商得昇科技股份有限公司

MATTSON INTERNATIONAL INC. TAIWAN BRANCH (U.S.A.)
稅籍狀態
營業中
股票代碼
-
所在地
新竹市東區
成立年份
1995-03-16
同地址公司
關聯企業
-
標案黑名單
-
訴訟記錄
專利證書
66 筆資料
資料來源:經濟部智慧財產局
序號專利名稱類別公告號IPCLOC有效期限效期狀態
1工件處理之系統與方法發明I857983H01L21/67 H01L21/677 -2026-10-10有效
2具有溫度不均勻控制的熱處理系統發明I857026H01L23/42 H10N30/01 -2026-09-30有效
3熱處理系統中用於局部加熱的支承板發明I849673H01L21/683 H01L21/67 H01L21/324 -2026-07-20有效
4具有電漿處理系統和熱處理系統的工件處理裝置發明I847038H01L21/67 H01L21/673 H01L21/3065 H01L21/324 -2025-06-30失效
5藉由偵測在具有分離網格電漿處理裝置內氮存在的漏氣偵測方法發明I839450G01N21/00 H01J37/32 H05H1/00 -2026-04-20有效
6用於工件處理之系統與方法發明I829337H01L21/67 H01L21/677 -2026-01-10有效
7電漿源陣列、電漿處理設備、電漿處理系統以及用於在電漿處理設備中加工工件的方法發明I829156H01J37/32 H05H1/46 -2025-01-10失效
8電漿處理設備發明I825711H01J37/32 H05H1/46 H01J37/02 -2024-12-10失效
9在低溫狀態下工件之熱處理和溫度量測之系統和方法發明I811401H01L21/324 H01L21/67 -2025-08-10失效
10具後電漿氣體注入的電漿處理裝置及其相關分隔格柵與方法發明I804487H01J37/02 H01J37/32 -2025-06-10失效
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